PECVD管式炉GLJZ1200真空泵配置：
商品简述：
该系统真空部分由高速直联（电机直接驱动）双级旋片油封式变容真空泵，及外围真空组件连接而成，可作为中、低真空系统的主抽泵，也可作为罗茨泵、扩散泵、分子泵等中高真空、超高真空系统的前级泵。并配有油雾过滤器及防反油装置。
主要特点：
1. 内装强制油泵，润滑充分，性能可靠；
2. 防止返油机构可靠，不返油；
3. 运行在气镇时，仍保持高的真空；
4. 抽除水蒸气能力强；
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